蒸気加熱式圧力調整器（レギュレーター）を紹介します
FITOKの集積ガスシステム
FITOKからリリースされた集積ガスシステムをネイフェストが紹介する。
株式会社ネイフェスト｜NAFEST Inc.
FITOKの集積ガスシステム
集積ガスシステム
はじめに
集積ガスシステムは、半導体産業のガス制御に使用されるモジュール式のシステムです。半導体プロセス技術の進歩に伴い、ガス制御システムに対する要求が高まっています。
FITOK一体型ガスシステムは、SEMI規格に準拠したモジュール設計の表面実装部品を採用しており、システムの小型化を実現しつつ、施工・メンテナンスの簡素化を実現しています。
特徴
◆モジュラー設計：設計時間を短縮
お客様のPID図に基づき、標準基板、バルブ（ダイヤフラムバルブ、逆止弁、レギュレータ）、流量計、フィルタ、圧力センサ等をパネル上に設置することで設計が完了します。
◆サーフェイス・マウント：施工とメンテナンスが容易
すべてのコンポーネントはSEMI規格（1.125 '' Wシール）に従ってサーフェイス・マウントされており、取り付けとその後のメンテナンスは簡単なツールで完了できます。
◆小型化
サイズは従来のパネルの約1/3になり、対応する流路サイズも小さくなり、より良いコンタミネーションコントロールが可能になりました。
◆316LVV材料、電解研磨プロセスおよび軌道(円周)溶接
接液部品はすべて316LVIM-VARオーステナイト系ステンレス鋼で、流路はすべて電解研磨(Ra0.13)され、継手はすべて軌道(円周)溶接されています。
◆Wシール
コンポーネントとサブストレート(ブロック)の間のWシールであるシール面は、外力を受けるコンポーネントから独立しているため、最適なシール効果が得られます。
注文情報
FITOKは、お客様のPID図に基づいて統合ガスシステムを設計・供給することができます。フィルタ、圧力センサ、MFCはお客様からご提供いただくことも、FITOKがお客様のブランドで提供することも可能です。